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一、半导体晶圆检测的重要性及面临的挑战在半导体制造领域,晶圆是制造芯片的基础材料。随着科技的不断发展,对芯片的性能和精度要求越来越高,这就对半导体晶圆的质量检测提出了极为严苛的标准。半导体晶圆在生产过程中,可能会出现各种缺陷,如表面划痕、颗粒污染、图案失真等。这些缺陷哪怕是微小的,都可能导致芯片功能失效,进而影响整个电子设备的性能。据统计,在半导体制造的总成本中,检测成本占比高达30% - 50%

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