半导体

  MEMS传感器的种类繁多,包括单轴、双轴和振动传感器等High-g(重力加速度)加速计,以及单轴、双轴和三轴的low-g加速计,另外有角速度陀螺仪和多重传感器方案等。   在采购MEMS传感器,尤其是应用于消费性电子产品中时,MEMS传感器的价格、体积和功耗可说是最重要的三个关键。在价格方面,过去MEMS传感器多用于汽车领域,然而近几年,由于技术的进步,MEMS使用于消费性电子产品已越来越常